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关键词
一种航空配套微压传感器芯片设计及制备
作者：
李闯
赵立波
王尊敬
徐留根
张磊
涂孝军
来源：
传感技术学报
年份：
2019
文献类型 ：
期刊
关键词：
非线性误差
曲线拟合
微压传感器
芯片设计
灵敏度
描述：
分析,提出了一种优化芯片可动膜片结构尺寸的设计方法。利用MEMS加工工艺,实现了沟槽梁膜双重应力集中结构压力芯片的制备。在量程0～
1
psi范围内,传感器灵敏度30.9 mV/V/psi,非线性误差
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