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传感技术学报(1)

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一种航空配套微压传感器芯片设计及制备: 作者： 李闯 赵立波 王尊敬徐留根张磊涂孝军 来源： 传感技术学报 年份： 2019 文献类型： 期刊 关键词： 非线性误差曲线拟合微压传感器芯片设计灵敏度; 描述： 分析,提出了一种优化芯片可动膜片结构尺寸的设计方法。利用MEMS加工工艺,实现了沟槽梁膜双重应力集中结构压力芯片的制备。在量程0～1 psi范围内,传感器灵敏度30.9 mV/V/psi,非线性误差

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