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李闯
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关键词
一种航空配套微压传感器芯片设计及制备
作者:
李闯
赵立波
王尊敬
徐留根
张磊
涂孝军
来源:
传感技术学报
年份:
2019
文献类型 :
期刊
关键词:
非线性误差
曲线拟合
微压传感器
芯片设计
灵敏度
描述:
分析,提出了一种优化芯片可动膜片结构尺寸的设计方法。利用MEMS加工工艺,实现了沟槽梁膜双重应力集中结构压力芯片的制备。在量程0~
1
psi范围内,传感器灵敏度30.9 mV/V/psi,非线性误差
一种航空微压传感器芯片的设计与实现
作者:
李闯
赵立波
王尊敬
徐留根
张磊
涂孝军
来源:
第十六届中国航空测控技术年会
年份:
2019
文献类型 :
会议论文
关键词:
压敏电阻设计
非线性误差
可动膜片设计
微压传感器
灵敏度
描述:
一种航空微压传感器芯片的设计与实现
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