双层光栅面内检测的微陀螺工艺关键技术研究
日期：2021.12.27 点击数：0
【类型】学位论文
【作者】郝飞帆
【关键词】 微陀螺,阳极键合,双层光栅检测
【摘要】双层光栅面内检测的微陀螺工艺关键技术研究
【学位名称】硕士
【学位授予单位】中北大学
【学位授予年度】2021
【导师姓名】李孟委
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