航空光电平台两轴快速反射镜结构设计

【类型】期刊

【作者】谭淞年 王福超 许永森 王烨菲 李全超  

【刊名】光学精密工程

【关键词】 快速反射镜,双轴柔性支撑,模态分析,面形精度

【摘要】为了满足航空光电平台对可见/红外双波段两轴快速反射镜面形精度和动态性能的高要求,针对性地设计了轻量化平面反射镜和柔性结构。对快速反射镜结构的设计方法进行了归纳,明确了快速反射镜结构的设计要素,分析了装配误差的影响。设计了背部中心支撑轻量化反射镜,通过定位工装实现了电机高精度装配。基于十字型柔性轴承,实现了双轴柔性结构的设计。最后,对快速反射镜的面形精度和模态进行了仿真和实验测试。实验结果表明,平面反射镜的面形精度(RMS)优于0.017λ(λ=632.8 nm),快速反射镜闭环带宽优于200 Hz,X向和Y向的定位误差皆低于1.2μrad。在满足高面形精度和高动态性能的基础上,该快速反射镜实现了小型化和模块化,能够在复杂的航空环境下稳定可靠地工作。

【年份】2022

【作者单位】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学;中国科学院航空光学成像与测量重点实验室;

【期号】11

【页码】1344-1352